丹東新東方晶體儀器有限公司
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藍寶石,俗稱剛玉,是一種簡單配位型氧化物晶體。藍寶石晶體定向具有優異的光學性能、機械性能和化學穩定性,強度高、硬度大、耐沖刷,可在接近2000℃高溫的惡劣條件下工作,因而被廣泛的應用于紅外軍事裝置、衛星空間技術、高強度激光的窗口材料。其獨特的晶格結構、優異的力學性能、良好的熱學性能使藍寶石晶體成為實際應用的半導體GaN/Al2O3發光二極管(LED),大規模集成電路SOI和SOS及超導納米結構薄膜等理想的襯底材料。低成本、高質量地生長大尺寸藍寶石單晶已成為當前面臨的迫切任務。
藍寶石晶體生長方式可劃分為溶液生長、熔體生長、氣相生長三種,其中熔體生長方式因具有生長速率快,純度高和晶體完整性好等特點,而成為是制備大尺寸和特定形狀晶體的常用的晶體生長方式。目前可用來以熔體生長方式人工生長藍寶石晶體的方法主要有熔焰法、提拉法、區熔法、坩堝移動法、熱交換法、溫度梯度法和泡生法等。
但是,藍寶石晶體定向上述方法都存在各自的缺點和局限性,較難滿足未來藍寶石晶體的大尺寸、高質量、低成本發展需求。例如,熔焰法、提拉法、區熔法等方法生長的晶體質量和尺寸都受到限制,難以滿足光學器件的高性能要求;熱交換法、溫度梯度法和泡生法等方法生長的藍寶石晶體尺寸大,質量較好,但熱交換法需要大量氦氣作冷卻劑,溫度梯度法、泡生法生長的藍寶石晶體坯料需要進行高溫退火處理,坯料的后續處理工藝比較復雜、成本高。